主要通過以下幾個方面對真空泵油的好壞進行區(qū)分：

1、極低的蒸汽壓：這是真空泵油的重要性能指標。蒸汽壓越低真空度就會越高，由于旋片真空泵要求真空度達到0.06Pa，高的要求達到1.33×10－4Pa以下，因此要求真空泵油的蒸發(fā)性極低．一般要用石蠟基窄餾分潤滑油，對于擴散真空泵，還可使用蒸氣壓很低的硅油或其他合成油。

2、合適的粘度，良好的粘溫特性：真空系統利用泵腔內容積不斷變化而形成排氣作用，要求潤滑油應具有合適的粘度和良好的粘溫特性。（粘溫特性是指，隨著泵內溫度的升高或降低，真空油的粘度會產生變動。粘溫特性好的真空油，粘度隨溫度的變動就越小。）

3、良好的熱氧化穩(wěn)定性：真空泵不斷向高速度發(fā)展，由于滑片和泵體的高速摩擦使油溫升高，因此使油的熱和氧化作用加劇。而擴散泵往往處于很高的環(huán)境溫度下工作，熱氧化差就會使真空泵油氧化變質。造成真空度低下，因此要求真空泵油有良好的熱氧化穩(wěn)定性。

4、良好的抗腐蝕性與抗乳化性：真空泵吸入的如果是腐蝕性氣體，會腐蝕泵內金屬零件與油發(fā)生化學變化。另外，吸入空氣中往往含有水汽，引起真空泵油的乳化，故要求有良好的抗腐蝕性與抗乳化性。在真空脫水工藝使用的真空泵油的乳化更為突出。

5、較高的閃點：要求真空泵中不攜帶輕質組分，以免影響油品的飽和蒸氣壓。（可燃液體揮發(fā)的蒸汽與空氣混合達到一定濃度遇明火發(fā)生一閃即逝的燃燒，或者將可燃固體加熱到一定溫度后，遇明火會發(fā)生一閃即燃的閃燃現象，叫閃燃。發(fā)生閃燃時的固體低溫度稱為閃點。）